PECVD 성장 온도에 따른 amorphous carbon film의 구조 변화 비정질 탄소(amorphous carbon, a-C) 필름은 다양한 산업 분야에서 중요한 재료로 사용되며, 특히 반도체, 광학, 기계적 보호 코팅 등에서 그 응용이 두드러집니다. PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정은 이러한 비정질 탄소 필름을 성장시키는 데 널리 사용되는 방법 중 하나입니다. PECVD는 플라즈마를 이용하여 기체 전구체를 분해하고, 이를 통해 고온에서도 안정적인 필름 성장을 가능하게 합니다. 이 과정에서 성장 온도는 필름의 구조적 특성에 큰 영향을 미치며, 이는 필름의 물리적, 화학적 성질에 직접적인 영향을 미칩니다. 1. PECVD 공정 개요PECVD..